盛美上海：获得欧洲半导体制造商的单片SAPS兆声波清洗设备采购订单

[2023-02-25 11:38:41] 来源：证券时报·e公司编辑：佚名点击量：

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导读：据盛美上海消息，公司宣布获得来自欧洲一家全球性半导体制造商的首个12腔单片SAPS兆声波清洗设备订单

　　据盛美上海消息，公司宣布获得来自欧洲一家全球性半导体制造商的首个12腔单片SAPS兆声波清洗设备订单。该设备配置了公司自主研发的空间交变相位移（SAPS）技术，预计将于2023年第四季度交付至该客户的欧洲工厂。SAPS工艺清洗效果更加彻底、全面，并且已在1xnm及以下DRAM制造上获得验证。

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